荷兰光刻机已到达中国 11台光刻机已经交货了

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文|科技在前方

自华为事件发生后,我国科技企业已经深刻意识到半导体原材料、半导体设备等成为了制约我国芯片发展的最大短板,尤其是制造芯片所需的光刻机设备。虽然在芯片设计方面,我国有华为海思、紫光展锐、中兴等一大批顶尖的芯片企业,但是在光刻机设备以及芯片制造方面,我国却依然被卡脖子。

荷兰光刻机已到达中国 11台光刻机已经交货了

例如在芯片制造上我国大陆最先进、最大的芯片制造企业中芯国际,一直停留在14nm工艺,就是因为缺少EUV光刻机。2018年,中芯国际曾向荷兰光刻机巨头ASML购买过一台1.5亿美元的EUV光刻机,由于受到美国的干扰,直到今天还未完成交付。

中芯国际联席CEO梁孟松博士曾透露,中芯国际7nm工艺即将进行风险试产,而5nm的八项工艺也有序展开,这也就意味着,如果ASML的EUV光刻机顺利到货的话,那么中芯国际5nm工艺技术也有望进行突破。可以说,中芯国际代工技术之所以落后台积电五年以上,EUV光刻机是关键因素之一。

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放眼当下,能生产先进EUV光刻机的厂家只有荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML),正因如此,ASML的EUV光刻机受到世界各国以及芯片制造企业疯抢。据悉,截止2020年年底,ASML已经累计出售了100台EUV光刻机,而台积电一家就独揽了60台左右,相比之下国内却一台也没有。所以说,国产芯片的发展被最大限度地限制住了。

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有一说一,荷兰光刻机巨头ASML无法向中国企业出售EUV光刻机也是迫于无奈,就像台积电无法为华为代工芯片一样,ASML光刻机也用到了美国技术。但是ASML曾多次表示,中国企业可以随意购买DUV光刻机,这也就意味着DUV光刻机不受美国限制。

虽然ASML已经明确了DUV光刻机不受限制,但是我国仍存在着诸多的疑虑和担心。因为前不久,半导体产业链人士透露,包括成熟工艺在内的每一台美国设备,都需要单独申请许可证。言外之意,中国在购买ASML光刻机时,有可能会被驳回,又或者是延迟发货,故意阻碍国产芯片的发展。

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就在这个时候,11台光刻机已出货到中国大陆,证明了ASML没有说谎。根据荷兰光刻机巨头ASML传来消息,2021年第一季度ASML共向中国大陆出货光刻机约11台,占比15%在全球排名第三。而且翻开ASML的2020年财报,ASML靠出货DUV光刻机设备,在中国大陆的营收为23.24亿欧元(约合人民币180.6亿元),同比增长69%。这也说明了,ASML并没有说谎。

不过ASML更加期待向中国大陆出口价值1.5亿美元的EUV光刻机,因为从上面数据显示,中国大陆地区的营收总额仍只有中国台湾和韩国的一半左右,这就说明了EUV光刻机才是ASML的最大利润点,这将大大改变并提高ASML的营收现状。

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既然EUV光刻机是限制我国芯片发展的最大障碍,那么暂时只能通过DUV光刻机来奠定国内芯片市场的地位。此前,ASML同中芯国际签订了一份12亿美元采购订单,将向中芯国际提供非EUV光刻机。按计划,中芯国际将在2021年,实现成熟12英寸产线扩产1万片、8英寸产线扩产超4.5万片。

另外,中科院也将关键材料、光刻机等卡脖子领域列入了科研清单,最近清华大学宣布成立清华芯片学院,专为我国半导体培养高端人才。足以可见,半导体芯片已经正式上升到国家战略高度,国产芯片领域正在加速崛起。

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总的来说,也确实如此。在芯片设计领域,华为海思迈入到了5nm工艺时代,紫光展锐也迈入到了6nm工艺时代,中兴也具备了7nm芯片设计研发能力,而在芯片制造领域,目前中芯国际已经正式攻克了7nm工艺芯片的技术难题,即将开始小规模试产。

在光刻机方面,上海微电子也即将交付国内首台28nm工艺浸润式光刻机;芯片研发人才方面,除了清华大学芯片学院外,国内第一座芯片大学南京集成电路大学,也早已落地,专门培养芯片领域的人才。

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而如今我国又不断地引进ASML的光刻机,这就说明了两手抓,两手都要硬。相信在我国上下齐心共同努力下,国产芯片打破国外垄断也是时间问题。希望,我国多多在半导体芯片产业链领域破冰,加油!

大家对此有何看法呢?欢迎讨论!

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